应我校邀请，中国地质大学（武汉）李敏教授将为我校作线上学术报告。现将具体事宜预告如下：
报告题目：光刻机超精密运动台多变量控制研究
主讲人：李敏
时间：2023年10月28日（周六）16:50-17:15
地点：澳门新葡新京学术报告厅（文津楼二楼）
主办单位：电气工程学院
欢迎全校师生参加。
主讲人介绍
李敏，中国地质大学（武汉）教授，博士生导师，湖北省“楚天学者”计划楚天学子，主要研究方向为精密动力学系统与控制、IC制造装备精密机电系统。主持国家自然科学基金2项，其他省部级项目6项；参与国家02重大专项课题“光刻机双扫描硅片台掩模台样机研发与集成”、“磁悬浮工件台关键技术研究”等。发表学术论文40余篇，其中IEEE T-MECH、IEEE T-IE等国际顶级期刊第一作者论文10篇；授权发明专利4项；研究成果已成功应用于国内自主研发的光刻机。受邀国际会议邀请，多次作大会报告；担任IEEE T-MECH、MSSP等期刊审稿人。
学术信息
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